Vakuum črpalke so zelo pomemben element v industriji polprevodnikov.
BUSCH je že pred več leti ustanovil posebno podjetje, ki se ukvarja samo z proizvodnjo vakuum sistemov za proizvodnjo polprevodnikov.
Več o vakuum sistemih za potrebe polprevodnikov si lahko preberete na naslovu
www.buschsvg.nl (EVROPA)
www.buschsvg.com (ZDA)